LABORATORI NAZIONALI DI LEGNARO
La scarica ad arco è stata storicamente una delle prime scariche studiate. Una descrizione completa della fisica del plasma nella scarica ad arco non è ancora disponibile ma si ha una buona comprensione dei meccanismi che regolano la scarica ad arco in vuoto. Saranno mostrati i principi di funzionamento e alcune tipologie di sorgenti ad arco, con particolare riferimento all’arco catodico La tecnica sarà messa a confronto con altre tecniche di deposizione, illustrandone i vantaggi e gli svantaggi. Si discuteranno i diversi metodi per l’iniezione della scarica nonché i meccanismi che portano alla formazione di macroparticelle (dette anche microgocce) e i diversi tipi di filtri che permettono di filtrarle. Saranno inoltre mostrati diversi tipi di applicazione dei sistemi ad arco, dalle applicazioni industriali alle applicazioni di ricerca. In particolare verranno illustrati sistemi ad arco funzionanti in Ultra alto vuoto (UHV) sviluppati per il ricoprimento in niobio di cavità acceleratici superconduttive a radiofrequenza e presentati i risultati ottenuti con sistemi planari[1], filtrati[2] e lineari. [1] R.Russo et al, Supercond. Sci. Technol. 18 (2005) L41-L44. (in press: available on-line) [2] R.Russo et al, submitted to JAP.

DATA: 15-06-2005