LABORATORI NAZIONALI DI LEGNARO
Morfologia di films di Niobio depositati per Sputtering a differenti Angoli di deposizione Target Substrato, Nuove configurazioni da Sputtering Magnetron per la deposizione di films di Nb in cavità di Cu, Materiali A15: un'alternativa al nb per applicazioni RF - Risultati preliminari

DATA: 21-12-2005

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